微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术，是在电子电路和系统的超小型化和微型化过程中逐渐形成和发展起来的。其发展的理论基础是19世纪末到20世纪30年代期间建立起来的现代物理学。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。
万级无尘车间亦称为无尘室或洁净室，它是污染控制的基础，没有无尘车间，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，无尘车间被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。随着科学技术的不断进步，对产品性能及品质要求越来越高，所有微电子行业的产品生产都离不开在无尘车间内的生产，这样大大提高了成品良率，那么影响无尘车间洁净度相关的因素我们应该如何控制呢？
(1)、温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。
(2、)新风量大：由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的最大值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。
(3)、送风量大：为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h);如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是≥15次/h)。
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