送风洁净度为保证送风洁净度符合要求，关键是清洗系统的最终过滤器的性能和安装。根据清洁度要求，选用低等级洁净室为低性能过滤器，选用高等级洁净室为高性能过滤器。事实上，要选择一个好的过滤器，必须充分考虑洁净室的特点、过滤器的特点和净化系统的特点。为保证供气的清洁度，只有合格的过滤器是不够的，还要保证：a.运输、安装过程中不损坏过滤器；b.安装严密。
洁净室的气流组织不同于一般的空调房间。它要求首先将最干净的空气送至操作现场。它的作用是限制和减少工件的污染。
充分通风稀释和消除室内污染空气。根据不同的清洁度要求，当洁净室高度较高时，换气次数适当增加。
保持洁净室一定的正压是保证洁净室不受污染或污染程度不低于设计洁净度水平的必要条件之一。即使在真空室中，其相邻房间或套房内的正压力不得低于其清洁度水平，并且真空室的清洁度可以保持。
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