近十年以来，电子工业洁净室技术在技术和经济上都经历了快速发展。特别是半导体工业和光电产业用高标准洁净室常常成为洁净室技术发展的标志。在此领域内，对产品质量的要求一直在提高，对洁净生产环境的要求也是如此。即使是由各种不同因素造成的最小污染，特别是气流组织不良的环境因素，也会导致高比例的有缺陷产品及废品率。因此，必须将影响产品质量的环境因素降至最小，保证优化生产工艺成本，提升制程良率。
对于洁净室的温湿度控制，最主要的两块是新风空调箱和干盘管。半导体洁净室厂房通常采用新风空调箱（Makeup Air Unit，MAU）+风机过滤单元（Fan Filter Unit，FFU）+干冷盘管（Dry Cooling Coil，DCC）的设计，即新风空调箱MAU 将具有一定洁净等级和温湿度的新风送到洁净室的回风通道中，与循环回风进行混合后进入洁净室吊顶上方，通过风机过滤单元FFU 后进入洁净室生产区域，从而基本达到无尘室的温湿度、洁净度及正压度的要求。新风空调箱除了要保证外界大气经过其中的初、中和高效过滤网，把空气中的粉尘颗粒过滤掉外，还要根据洁净室里面的温湿度情况调整出风口的温湿度，以保证送入的新风在规定的温湿度范围内。而干盘管是根据洁净室里面安装的温湿度传感器测量的值来调整干盘管冷水阀的开度，进而调节回风和送风混合后的温湿度，以保证满足半导体工艺的温湿度需求。
由于整个洁净室内摆满了各种生产机器，这些机器都保持持续的运转，会产生大量的热量，这些热量又将通过回风通道内的干盘管DCC 进行冷却而被带走， 从而达到维持长时间稳定的温湿度环境。
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